Nový TESCAN AutoSlicer™ společnosti TESCAN ORSAY HOLDING umožňuje přípravu vysoce kvalitních vzorků rychleji, s konzistentní kvalitou a s méně artefakty.
TESCAN ORSAY HOLDING, a.s., představuje svůj nový modul TESCAN AutoSlicer™ pro poloautomatickou přípravu vzorků (lamel) pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) v rámci analýzy vad polovodičů a v materiálových vědách. TESCAN AutoSlicer™ umožňuje rychlou přípravu TEM lamel s vysokou propustností na několika místech vzorku nebo na více vzorcích najednou. Lze jej použít na přístrojích kombinujících fokusovaný iontový svazek a rastrovací elektronový mikroskop (FIB-SEM) s Galiovým nebo Xenonovým plazmovým iontovým tubusem. V obou případech zaručuje plnou kontrolu nad specifickými parametry potřebnými pro optimální kvalitu vzorků.
Automatizace vstupních kroků procesu přípravy vzorků pro TEM zkracuje dobu zpracování, zajišťuje stejnorodost lamel a eliminuje potenciální problém kolísavé kvality lamel pro následnou analýzu a zobrazení. S tím, jak se denně zvyšuje počet vzorků k přípravě, potřebují vědci a inženýři zvýšit průchodnost této přípravy; mimo jiné také z toho důvodu, že samotné vzorky je stále obtížnější připravit, jak se postupně zmenšují rozměry funkčních jednotek v elektronických součástkách s postupně se zmenšující technologií výrobních procesů.
-
- Uživatelské rozhraní TESCAN AutoSlicer™ je navrženo pro intuitivní definování parametrů přípravy vzorku, přičemž uživatelské pokyny jsou k dispozici během celého procesu: od přípravy vzorku až po připojení lamely k mřížce TEM.
-
- Vzorek křemíku, 10 x 10 řad lamel, s dokončeným krokem podříznutí, připraveno bezobslužným automatizovaným procesem. Doba přípravy byla 8 hodin s úspěšností větší než 96 %.
-
- Příklad vzorku po automatickém hloubení a podříznutí, připraveném pro zvednutí invertované geometrie in-situ. Díky automatickému procesu frézování a depozice TESCAN AutoSlicer™ stačí, aby uživatel pro finální ztenčování pouze upravil přesnou polohu vzorku.
„Plazmový FIB si získává oblibu jako metoda přípravy tenkých vzorků, protože takhle připravené lamely nejsou ovlivněny implantací galia a vykazují významně menší poškození povrchů,“ vysvětluje Jozef Vincenc Oboňa, ředitel produktového marketingu pro polovodiče společnosti TESCAN ORSAY HOLDING. „Rozšířením schopnosti bezobslužné přípravy vzorků s TESCAN AutoSlicer™-em původně využívaných na TESCAN Ga FIB-SEMech a teď i na TESCAN Xe plazmových FIB-SEMech jsme schopni pomoci uživatelům dále posílit výhody plazmové FIB technologie, spočívající v časové úspoře a kvalitě vzorků. Ty se nyní připravují rychleji, konzistentněji, s méně artefakty a menší amorfizací.“
TESCAN AutoSlicer™ automatizuje úvodní kroky v rámci přípravy TEM vzorku: navigace k oblastem zájmu, depozice ochranné vrstvy, odprašování materiálu po stranách lamely, leštění a podřezání pro uvolnění lamely ze vzorku. Po těchto úvodních přípravných krocích poloautomatický proces TESCAN AutoSlicer™-u vede uživatele následnými kroky vyzdvižení a uchycení lamely na TEM mřížce. Uživatelé si mohou optimalizovat vlastní postup přípravy přesně pro potřeby svých vzorků. Ty potom TESCAN AutoSlicer™ uloží a uživatel si je dle potřeby načte z paměti. Podobně jako všechny TESCAN softwarové moduly je TESCAN AutoSlicer™ plně integrovaný v uživatelském rozhraní TESCAN Essence™, takže je velmi intuitivní a snadno si s ním poradí i uživatelé bez rozsáhlých předchozích zkušeností s přípravou vzorků.
TESCAN AutoSlicer™ je k dispozici pro TESCAN AMBER a TESCAN SOLARIS, galiové FIB-SEM přístroje, jakož i pro TESCAN AMBER X a TESCAN SOLARIS X, plazmové FIB-SEM přístroje. Pro více informací si prostudujte portfolio TESCAN FIB-SEMů.