Řešení TESCANu v systémech FIB-SEM (kombinace skenovací elektronové mikroskopie a iontových paprsků) spočívá ve shodě kontaktních bodů elektronového a iontového paprsku, což vede k dosažení ideálních výsledků v mnoha typech aplikací. Největším benefitem tohoto řešení je simultánní SEM zobrazování během úprav vzorku pomocí frézování FIB. Výzkumníci tak mají k dispozici maximální výkon a propustnost ve všech operacích s FIB, a to při zachování nejvyšší úrovně přesnosti.
TESCAN ve svém portfoliu nabízí dva druhy iontových děl (FIB), podle částic, které emitují: jedná se buď o ionty galia (Ga), nebo xenonovou iontovou plazmu (Xe). Ga-FIB nachází uplatnění ve všech typech aplikací, které vyžadují maximální přesnost při výrobě a nanopatternování. Na druhou stranu Xe-FIB umožňují vysoké proudy iontového paprsku, které umožňují odstraňovat velké objemy materiálu vzorku, a to ve výrazně kratším čase, ve srovnání s Ga-FIB je rychlost obrábění až padesátinásobná. Pokud jde o přesnost, plazmové FIB TESCAN mohou dosáhnout rozlišení < 15 nm, což je plně dostačující pro většinu aplikací, které vyžadují kombinaci rychlosti a přesnosti.
Naše široká škála systémů FIB-SEM je zaměřena na široké portfolio zákazníků a nachází uplatnění od základních rutinních průmyslových aplikací až po nejpokročilejší a nejnáročnější technologické aplikace, které pro své složité pracovní postupy vyžadují nejvyšší standardy v zobrazování mikro- a nanoměřítku.
