V současnosti jsou nejrozšířenější dva základní typy displejů: tenkovrstvé tranzistorové displeje z tekutých krystalů (TFT-LCD) nebo displeje na bázi organických sloučenin světelných diod (OLED), které nabízejí vysoce kvalitní obraz při nízké spotřebě energie. Displeje LCD a OLED obsahují jak extrémně tvrdé materiály (molybden, nitrid titanu), tak extrémně měkké materiály (například slitiny stříbra). Jejich nehomogenní složení a silná tloušťka skleněných (nebo plastových) podkladů, organických mezivrstev a integrovaných dotykových obrazovek je pro SEM analýzy skutečnou výzvou.
Průřez kovových kontaktů a datových vedení v TFT displeji připravený pomocí Ga FIB
- TESCAN nabízí řadu nástrojů, které nachází uplatnění při vývoji a výrobě zobrazovacích technologií. Displeje jsou jemné struktury, které lze snadno poškodit elektronovým paprskem, ale TESCAN si s tím dokáže poradit.
-
- Velkoplošné frézování podkladu TFT panelu (hloubka více než 300 µm), provedené pomocí plazmového FIB
-
- BSE obraz zobrazující mikrostruktury různých vodivých a izolačních vrstev AMOLED displeje
-
- Měděné kontakty a metalizace mezi křemíkovými a skleněnými vrstvami v TFT panelu
-
- Kontrola problematické vrstvy OLED displeje